半導體外延爐的傳感器往往需要定期清理，但清理次數和方法應根據傳感器種類、加工工藝環境和污染程度綜合考量。以下屬于深入分析：
1.加工工藝環境污染積淀
外延性爐在高溫下（一般600℃~1200℃）、超高真空或腐蝕性物質（如SiH?、NH?、Cl?等）自然環境下運行，感應器表層很有可能堆積：
細顆粒物：反映副產品（如硅顆粒物、碳堆積）
有機化學涂層：反映氣體在感應器表面形成一層的高聚物或金屬氧化物
金屬材料環境污染：爐體材料和產品工件釋放出來的雜質
這種污染物質會嚴重影響傳感器檢測精度，甚至造成數據信號飄移或無效。
2.特性損耗風險性
熱電阻：環境污染可能造成溫度測量偏差，危害溫控可靠性。
液位傳感器：顆粒物阻塞可能會引起測量落后或數據異常。
汽體濃度傳感器：有機化學涂層可能改變感應器對特定氣體敏感度。
3.機器設備的壽命
定期清理可以減少感應器因環境污染造成的故障，減少拆換成本費。
