半導(dǎo)體外延爐工作原理:
1、反應(yīng)氣體從鐘罩頂部氣體入口處進(jìn)入反應(yīng)室，從排成一圈的六個(gè)石英噴嘴噴出，經(jīng)石英擋板阻擋，沿
基座與鐘罩之間向下，在高溫下反應(yīng)而在硅片表面沉積生長(zhǎng)，反應(yīng)尾氣在下部排出。
2、溫度分布2061加熱原理:感應(yīng)線圈內(nèi)通過(guò)高頻大電流，制造渦旋磁場(chǎng)。基座是導(dǎo)體，處于渦旋磁場(chǎng)
中，產(chǎn)生感生電流，電流加熱基座。
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